Bộ kiểm tra bốn đầu dò kết hợp điện đôi

Bộ kiểm tra bốn đầu dò kết hợp điện đôi

Một. Nguyên tắc của phương pháp bốn đầu dò kết hợp điện kép:

1. Áp dụng phương pháp đo Vanderburg cho bốn đầu dò thẳng bằng cách áp dụng công nghệ đo kết hợp hai vị trí bốn đầu dò. Sử dụng sự biến đổi kết hợp của đầu dò dòng điện và đầu dò điện áp để thực hiện hai phép đo điện, kết quả tính toán cuối cùng của nó có thể tự động loại bỏ các yếu tố gây ra bởi kích thước hình học mẫu, hiệu ứng ranh giới và chuyển động cơ học của đầu dò, ảnh hưởng bất lợi đến kết quả đo.

2. Trong quá trình thử nghiệm, đáp ứng các điều kiện cơ bản có thể không tính đến các yếu tố như khoảng cách đầu dò, kích thước mẫu và vị trí của đầu dò trên bề mặt mẫu.

3. Tự động điều chỉnh, làm giảm tác động của nó đối với kết quả kiểm tra, do đó cải thiện độ chính xác của kết quả đo lường.

Hai. Ưu điểm của phương pháp thăm dò kép:

Phương pháp đo bốn đầu dò thông thường không giải quyết được, điều kiện ranh giới hình học và tự động điều chỉnh khoảng cách đầu dò.

2. Áp dụng cho tất cả các loại hình dạng của bộ phim sổ và vật liệu bán dẫn flake.